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不久前，来自莫斯科的泽列诺格勒纳米时候中心（简称ZNTC）与白俄罗斯半导体制造建筑厂商Planar秘书已拓荒出俄罗斯第一套可撑合手350纳米级制程时候（0.35微米）的光刻机系统。

那么此套光刻机具体时候若何？辞天下处于何种地位？接下来的执行为人人简便分析一下。

外洋科技媒体tomshardware报说念，此款光刻机的研发得到了白俄罗斯普莱纳公司的协助。这台机器已通过官方检测，当今正在泽列诺格勒进行集成测试。尽管该系统具有璀璨意旨，但其瞎想已逾期数十年，况且尚不了了ZNTC能否达成其批量分娩。

一种新器用

ZNTC 的光刻器用是一台 200 毫米光刻机，基于固态激光器，曝光场尺寸为 22 毫米 ×22 毫米（484 浅薄毫米）。 ZNTC和普莱纳公司并未显现该器用的要津时候细节，包括所使用激光器的波长，以及激光器能够发出的功率。不外，他们显露该器用使用了一种节能的 “固态” 激光器，其放射鸿沟 “更窄”，使用寿命更长。

使用固态光源似乎是一个病笃细节，这不仅使该器用有别于跨越晶圆厂建筑制造商所瞎想的器用，也可能显露了该公司过去的发展狡计。

鉴于ZNTC发布的声明颠倒朦胧（好像是为了对其自己以及巴搭伙伴的领悟情况守密），有必要征询一下阿斯麦（ASML）那些广为东说念主知的分娩器用，以便更好地了解ZNTC所得回的后果。

阿斯麦为 200 毫米晶圆瞎想的光刻器用，用于撑合手从 350 纳米到 130 纳米的工艺时候，传统上会凭据具体的光刻型号和工艺节点条目，接受两种主要类型的紫外线（UV）照明光源之一：汞弧灯、氟化氪（KrF）或氟化氩（ArF）激光器。

关于 350 纳米及更低端的工艺时候，阿斯麦的 i 线步进光刻机使用波长为 365 纳米的汞弧灯（405 纳米和 436 纳米的情况较稀有）。关于 250 纳米及更高端的工艺节点，阿斯麦使用波长为 248 纳米的氟化氪（KrF）激光器。从 130 纳米工艺节点启动，阿斯麦的深紫外光刻系统则使用波长为 193 纳米的氟化氩（ArF）激光器。

固态光源？

正式的读者可能会问：“半导体分娩中的固态激光器是什么？” 固态激光器在半导体制造中诈欺无为，但在先进工艺节点的主光刻曝光门径并不使用。相背，它们被用于接济使命，如晶圆检测、劣势分析、标记以及微加工工艺，包括晶圆切割或元件修整等。

波长约为 365 纳米的固态激光器（三倍频 Nd:YAG 激光器）也可用于纯熟工艺节点（如≥250 纳米）的光刻，因为它们恰当、高效且可靠。然则，如上所述，自 20 世纪 90 年代末以来，阿斯麦一直使用基于气体的准分子激光器（248 纳米的 KrF、193 纳米的 ArF）或汞灯（365 纳米 i 线）。

这就很故真义了，因为ZNTC显露正在研发一款能够撑合手 130 纳米级工艺时候的光刻系统，不外瞻望要到 2026 年某个期间智商完成研发。

为时已晚？

诚然 350 纳米级工艺时候仍用于某些建筑，但以如今的步骤来看已历程时了。20 世纪 90 年代中期，英特尔在奔腾 MMX、奔腾 Pro 和早期奔腾 II CPU 中使用了这一工艺节点，而 AMD 粗放在 1997 年也用相似的时候分娩了 K6 处理器。如今，先进芯片接受的是 5 纳米级或更先进的工艺时候。

就连像安格斯特姆（Angstrem）和米克朗（Mikron）这么的俄罗斯芯片制造商也不接受 350 纳米的工艺进行分娩。这两家公司的分娩别离率皆在 250 纳米到 90 纳米之间。因此，这款新的光刻机与俄罗斯主要晶圆厂的现存分娩工艺节点不匹配，这就收尾了它在俄罗斯国内分娩商非要津层分娩中的平直贸易价值，这些分娩商将持续使用私运干预俄罗斯的阿斯麦 PAS 5500 系列光刻器用。

不外，ZNTC的这款器用在特定鸿沟可能仍有一定的用武之地。一些汽车和电源惩处集成电路接受的是纯熟工艺，军事诈欺也可能会从这种器用中受益，因为军事诈欺并不老是需要最顶端的性能。

尽管如斯，这台新机器的主要规划似乎仍是算作拓荒更重大版块的基础。ZNTC当今正在研发一款针对 130 纳米级工艺时候的新式号，瞻望 2026 年完成。这一版块是俄罗斯政府制定的恒久道路图的一部分，该道路图的规划是到 2025 年底达成国内 90 纳米工艺的分娩，到 2027 年达成 28 纳米，到 2030 年达成 14 纳米。ZNTC和俄罗斯的其他关系机构当今的领悟远远逾期于这一狡计。

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